光刻机氢离子注入概念五大核心标的：1、先导基电（600641）股价：19.35元技术优势：覆盖低能大束流、高能、中束流全谱系，12英寸低能大束流机型已安全运行超500万片晶圆，累计交付超40台，获中芯国际、长江存储等头部客户认证。2、北方华创（002371）股价：523.88元技术优势：一次性发布多款12英寸机型，束流传输效率超90%，国产化率超55%，覆盖刻蚀、薄膜沉积等核心设备，为离子注入机提供系统级解决方案。3、华海清科（688120）股价：195.50元技术优势：复制“设备协同+客户复用”的国产替代路径，依托原有CMP设备积累的晶圆厂客户信任快速渗透市场。4、中核科技（000777）股价：26.79元核心优势：核级阀门、泵等关键部件，为离子注入机提供高可靠性流体控制解决方案。5、新莱应材（300260）股价：60.98元技术优势：AdvanTorr品牌真空产品和NanoPure品牌气体产品可应用于光刻机和离子注入机，超高纯气体系统保证离子注入过程气体纯度和输送稳定性。
