东方晶源成立十二周年以全链条技术突破定义中国“芯”实力东方晶源成立十二周年，发

老陈谈 2026-02-14 23:17:46

东方晶源成立十二周年以全链条技术突破定义中国“芯”实力东方晶源成立十二周年，发布电子束量检测装备、电子光学系统、计算光刻EDA与HPO全流程工艺优化等成果，电子束设备覆盖四大核心领域，多款产品对标国际或填补空白：计算光刻EDA 升级，AI攻克Etch Model难题，以全链条技术突破支撑中国半导体自主化、助力芯片制造设备发展。

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