截止2024年底，半导体用电子气体整体国产化率约为46%。其中，8英寸及以下晶圆

高旭的世界 2025-02-23 21:18:00

截止2024年底，半导体用电子气体整体国产化率约为46%。其中，8英寸及以下晶圆用电子气体已基本实现自主供应。新型显示用电子气体国产化率大幅提高到约56%。其中，TFT-LCD用三氟化氮、硅烷、氯气、氦气等主流电子气体，OLED显示用氧化亚氮（笑气）、四氟化碳等主流电子气体已实现国产大批量供应。 常见的电子特种气体包括硅烷（SiH4）、锗烷（GeH4）、溴化氢（HBr）、磷化氢（PH3）、砷化氢（AsH3）、乙硼烷（B2H6）、一氧化二氮（j j nN2O）、六氟化硫（SF6）、六氟化钨(WF6)、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、三氯化硼（BCl3）、三氟化硼（BF3）、三氟甲烷(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、二氯二氢硅烷（Si2H2Cl）、四氟化硅(SiF4)、正硅酸乙酯[(C2H5O)4Si]、八氟丁烷(C4F8)、高纯氨气（NH3）、高纯氯气（Cl2） 等。

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