2025年3月26日，北方华创推出首款离子注入机Sirius MC 313。之前北方华创设备布局涵盖刻蚀、沉积、清洗、检测等环节。 北方华创零部件供应能力快速提升： 自研的射频电源已经批量应用于多款产品上； 神工股份也正在配合北方华创、中微公司开发硅零部件； 先锋精科是国内少数已量产供应7nm及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商，协助北方华创、中微公司和拓荆科技等向先进制程迈进； 大连理工大学研发出具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件——MAPS。能够对ICP刻蚀机、CCP刻蚀机、PECVD和PVD工艺腔室进行仿真，支持对优化工艺过程参数。得到北方华创、中微半导体设备、拓荆科技、苏州迈为、武汉长江存储、理想能源设备等多家企业的应用； 长江存储、合肥长鑫与北方华创合作，在高端真空阀门、气体管道及气体控制元件深入国产替代化；
