光刻机板块中具有上涨潜力的个股： ​​1、张江高科：公司通过旗下全资子公司间接参

光刻机板块中具有上涨潜力的个股： ​​1、张江高科：公司通过旗下全资子公司间接参股上海微电子装备（集团）股份有限公司，持股比例10.78%。上海微电子是国内光刻机头部厂商，随着国产光刻机技术的发展和市场份额的提升，张江高科有望受益于其股权增值。 ​​2、茂莱光学：公司基于核心技术生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm，突破常规透镜尺寸和精度的指标要求，在精密光学领域具有领先技术，为光刻机提供关键光学部件，随着光刻机市场需求的增长，公司业务有望持续拓展。 ​​3、波长光电：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，能够满足光刻机对光学成像系统的高精度要求，有望在国产光刻机产业链中占据重要地位。 ​​4、蓝英装备：公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案，在光刻机清洗领域具有独特技术和市场份额，随着全球光刻机市场的发展，其清洗业务有望保持稳定增长。 ​​5、炬光科技：公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是光刻机光源系统中的关键部件供应商，随着光刻机技术的不断进步和市场需求的增加，公司的产品需求有望持续提升。 ​​6、新莱应材：公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，且公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商，产品满足7nm先进制程需求，批量交付全球半导体龙头，后续订单有望持续落地。 ​​​​​以上是根据公开数据为大家整理的资料，仅供参考。如有帮助，请点个赞。