荷兰最近有点坐不住了。 电话一个接一个打到东方大国，不是他们突然开了窍，而是中国光刻机技术又往前迈了一大步。 中科院弄出个全固态深紫外激光器，体积小到原来的三分之一，功耗低了四成，连污染都省了。 ASML那边还在靠稀有气体撑场面，咱们直接用Yb:YAG晶体放大器，硬生生把传统光源比下去。 螺旋相位板一上阵，激光变DNA双螺旋形状，光刻精度冲到2纳米，7纳米生产线都快搭好了。 再说说另一边哈工大搞的动静。 他们整出个激光放电等离子体技术，直接把老外的专利墙给拆了。 以前ASML搞的那些复杂电路设计，现在咱们用激光“哐哐”两下就搞定，设备成本当场砍掉四成。 最绝的是这技术不光省电，连维护周期都拉长了。 以前三天两头得停机检修，现在连着跑一个月不带歇的。 有工程师开玩笑说，现在车间里都不用备那么多备用零件，维修师傅都快闲得转岗了。
