固态激光高效LPP-EUV光源登上了专业期刊封面[酷]不同于ASML二氧化碳激

利益慢 2025-04-30 14:49:14

固态激光高效LPP-EUV光源登上了专业期刊封面 [酷]

不同于ASML二氧化碳激光LPP路线，我们走出了新路(我们不止走一条路，而是多路径饱和式研发) [鼓掌]

年初EUV的消息很多，今年底就差不多能量产芯片了 [并不简单]

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烽火问鼎计划 ​​​

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