固态激光高效LPP-EUV光源登上了专业期刊封面 [酷]
不同于ASML二氧化碳激光LPP路线,我们走出了新路(我们不止走一条路,而是多路径饱和式研发) [鼓掌]
年初EUV的消息很多,今年底就差不多能量产芯片了 [并不简单]
图源网络
烽火问鼎计划
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