光刻机技术原理大揭秘,一文看懂芯片制造“神级装备”! 最近,芯片制造“神级装备”光刻机又火了!它就像芯片制造的“灵魂画师”,把微小电路图案精准刻在硅片上,决定着芯片的性能和制程。其原理类似单反相机,用特定波长的光,穿过刻着电路图案的光罩,经物镜补偿误差,将图案缩小映射到涂有光刻胶的硅片上。光刻胶遇光发生化学反应,显影后,硅片上就留下了电路图案。光源波长越短、物镜数值孔径越大,分辨率越高。从UV到DUV,再到EUV,波长不断缩短,芯片制程也不断突破。想知道光刻机还有哪些黑科技?快戳进来!#中国光刻技术# #中国光刻技术# #光刻技术# #中企光刻机# #极紫外光刻技术#
光刻机技术原理大揭秘,一文看懂芯片制造“神级装备”! 最近,芯片制造“神级装备”
烟雨故人桂
2025-06-04 20:03:15
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