光刻机技术原理大揭秘，一文看懂芯片制造“神级装备”！ 最近，芯片制造“神级装备”光刻机又火了！它就像芯片制造的“灵魂画师”，把微小电路图案精准刻在硅片上，决定着芯片的性能和制程。其原理类似单反相机，用特定波长的光，穿过刻着电路图案的光罩，经物镜补偿误差，将图案缩小映射到涂有光刻胶的硅片上。光刻胶遇光发生化学反应，显影后，硅片上就留下了电路图案。光源波长越短、物镜数值孔径越大，分辨率越高。从UV到DUV，再到EUV，波长不断缩短，芯片制程也不断突破。想知道光刻机还有哪些黑科技？快戳进来！#中国光刻技术# #中国光刻技术# #光刻技术# #中企光刻机# #极紫外光刻技术#
