中国EUV技术突破，美国急寻替代方案？

前沿导读继中国哈尔滨工业大学宣布在EUV光源上面实现了技术突破后，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发出了一种名称为大孔径铥 （BAT） 激光器，旨在为极紫外 （EUV） 光刻技术的下...