清华方案震撼登场，ASML和台积电如何应对？

清华方案是考虑建设芯片生产线，而不是制造集成光刻机，方案中使用粒子加速器作为光源，SSMB原理的加速器周长为150米，EUⅤ输出功率超过1千瓦，波长覆盖从太赫兹到极紫外波段。一台加速器可以同时连接...