难怪ASML的态度突然变好，一张照片显示，中国EUV光刻机来了。 10日，全球

难怪ASML的态度突然变好，一张照片显示，中国EUV光刻机来了。

10日，全球光刻机制造商巨头——荷兰ASML公司公开表示，此前网传其要在2025年于北京新建维修中心的消息并不准确，他们今年确实要在中国扩大投资，但不是新建，而是在现有基础上升级扩建。而在去年，ASML还曾说可能要停止维修销售到中国的光刻机，原因就是美国方面施加的巨大压力。

而ASML的态度突然变好，可能与近日网传的一张图有关。据称，这是由中国自主研发的物镜装调干涉仪，它是生产7纳米以下先进制程芯片的EUV（极紫外光刻）光刻机的核心部件之一，主要用于光刻机的调试校准。此前，全球只有ASML能生产EUV，但如果这个图是真的，就说明中国可能已经解决了物镜的精密装配，如果光源和双工台问题同样解决，那中国就基本上突破了EUV的全部核心技术，中国国产EUV或许将在今年下半年试生产，明年开始量产。

而且据称，我们研发的EUV与ASML的产品采用了不同原理，方法更简单，机器体积更小，成本更低，效率更高。可以想象，一旦中国的机器面世，西方尤其是ASML在光刻机领域的垄断就将被彻底打破。这就难怪ASML不听美国话了，先救自己才最重要啊！