三氟化氯——魔鬼化合物 三氟化氯化学式为ClF₃，是一种常温下为无色气体，降温变为绿色液体的无机化合物，具有毒性和强腐蚀性。 三氟化氯主要用来生产六氟化铀，以及核燃料加工和后期处理。在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。 在描述三氟化氯应用的时候写道： "这种物质毒性自然极强，但这并不是最重要的问题，其与任何燃料相遇都会燃烧，而且这一过程发生速度是如此之快以致于测量不到点火延迟。它和衣服、木头、测试工程师们接触都会燃烧，一些常识中的不燃物质如石棉、砂子和水与三氟化氯接触也无一幸免，尤其和水反应会产生爆炸。它可以被存放在某些工程金属里——钢、铜、铝等，因为在界面处形成稳定氟化物薄膜隔离了金属和三氟化氯，就像铝表面那层不易被发觉的致密氧化铝，保护铝不至在空气中变成粉末。值得注意，当这层氟化物融化或被刮伤，且无法及时再次形成时，消防员就要面对一场金属——三氟化氯反应引发的火灾。对于应对这种事故，我一直以来都建议实验人员为自己准备一双好跑鞋。"
