看了新凯来工艺装备总裁杜立军的演讲全文,随手摘了几段给大家看看,这家新锐半导体设

风云中的机海 2025-03-29 09:45:27

看了新凯来工艺装备总裁杜立军的演讲全文,随手摘了几段给大家看看,这家新锐半导体设备公司的能力与野心:

众所周知,在先进的光刻技术方面,我们现在面临的一些困境。这就促使我们去探索是否有非光的技术来“补光”。行业对此也有一定的共识,类似SAQP就是其中的一种解决方法(补充科普:华为与新凯来是有SAQP相应的发明专利的)。

面对光刻的套刻问题的,行业也奔向了选择性沉积等等一系列技术。可能有一条路径,我们用非光的技术,也就是用我们的工艺装备,能够解决一部分光刻的问题。

我们从原子的物理模型开始,到腔室的一些化学,包括反应的模型,以及到诊断,我们构建了全面的仿真诊断的设计能力。我们现在的这套仿真软件能力可以对标行业最先进公司的仿真精度和准度。那么我们这套软件叫问源,取自于我们一句诗——问渠哪得清如许,为有源头活水来。

新凯来整体的设计理念是一代工艺,一代材料,一代装备。我们希望在底层的精准能量控制、智能的窗口调优以及快稳准的控制系统上面,给我们的工艺的开发以及材料的演进插上翅膀。希望在未来的更精细化的管理上面能够提供一个更优的解决方案。

半导体物理极限的探索,是我们半导体人永恒的追求,也是星辰大海。新凯来也希望秉持我们以技术为本的初心,能够和我们的伙伴们一起联合创新,大家协同共赢,一起面向未来。我们也希望能给我们的客户一个新的选择。💪🏻

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