电子束光刻机相关股：
国产“羲之”电子束光刻机进入测试阶段，带火了一批关联股，主要分两类：
核心配套企业
- 北方华创：设备集成与工艺优化，和“羲之”技术协同。
- 中微公司：刻蚀设备兼容“羲之”模块，有技术合作。
- 精测电子：独家测试设备，保障光刻精度。
- 苏大维格：国内唯一能产电子束聚焦元件的企业。
- 芯源微：配套涂胶显影设备，适配电子束工艺。
间接支持企业
- 至纯科技：提供超纯水设备，满足光刻机对水质的高要求。
- 南大光电：ArF光刻胶国产化，是光刻环节关键材料。
- 汉钟精机：真空泵适配，刚拿到国产厂商订单。
这些企业因技术关联受关注，但需注意短期波动，技术落地到量产还有过程。
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