从12月1日起荷兰ASML先进光刻机制造将受限！涉及到EUV光刻

从 12 月 1 日起荷兰 ASML 先进光刻机制造将受限！涉及到 EUV 光刻机的镜头 光源 配件的原材料：镧、钍、钇等稀土材料及稀土永磁电机，光刻胶、薄膜材料等也需多种稀土元素！ 谁都知道ASML的EUV光刻机是高端芯片的“命门”，2nm以下制程离了它根本玩不转，美国早就盯着这块香饽饽，逼着荷兰限制对华出口，荷兰迫于压力只能乖乖听话，可他们千算万算，没算到那些看似不起眼的稀土“石头”，反倒成了拿捏全局的反制王牌，那些看似高大上的光刻机，骨子里还是离不开中国的这些宝贝。 先说说EUV光刻机有多依赖稀土，这东西可不是靠图纸堆出来的，每一个精密部件都得靠稀土撑场面。 就说那决定成像精度的镜头，用的是特制的镧系玻璃，这玻璃里要是没了镧元素根本成不了事，能把极紫外光的透光误差控制在纳米级，少了这东西，再先进的镜头也只能是块普通玻璃，根本刻不出2nm的精细电路。 再看光源系统，那可是EUV的“心脏”，得靠高功率激光激发等离子体产生极紫外光，核心部件必须扛住上千度的高温，而钇元素的耐高温特性正好派上用场，没有钇的加持，光源系统分分钟就得烧报废，更别提稳定输出极紫外光了。 最关键的还是驱动晶圆工作台的永磁电机，这部件得带着晶圆以纳米级精度高速运动，普通磁铁根本扛不住这种高强度作业，必须用含镝、钐的稀土永磁材料，这两种元素能给磁体带来超强的矫顽力和稳定性，哪怕在极端工况下也不会失磁，卢克文工作室就提过，没有镝和铽，造出EUV的磁悬浮系统根本不可能。 更别说光刻胶里那些藏着的稀土成分，这东西是图形转移的关键介质，纳米级的电路图案全靠它“画”出来，哪怕稀土占比只有0.1%，按照新规也得拿中国的出口许可才能用，这一下就把光刻环节的命门也攥住了。 美国和ASML之前显然没把这些“石头”当回事，可中国在稀土领域的话语权，比他们想象的要大得多。 数据摆在那，中国控制着全球约70%的稀土开采、90%的分离与加工，还有93%的磁体制造，尤其是重稀土，像镝、铽这些EUV急需的宝贝，中国储量占全球80%以上，而且冶炼分离技术领先全球，别人想模仿都没那么容易。 之前美国还想找漏洞，让巴基斯坦用中国设备开采稀土供应自己，10月份特朗普刚和巴基斯坦总理签了协议，结果新规一出来，只要用了中国的稀土或者中国的技术，出口就得批，这招直接堵死了所有钻空子的可能。 12月1日起生效的稀土新规一落地，ASML立马就尝到了苦头，已经开始为出货延迟数周做准备，甚至急着游说荷兰和美国盟友找替代方案，可哪有那么容易。 要知道ASML的设备里全是稀土部件，激光器、磁铁、光学元件个个都离不开，之前彭博社就报道过，ASML和美国应用材料公司的半导体设备，尤其依赖稀土做的精密部件。 现在倒好，不管是直接用中国稀土，还是用了中国技术造的稀土产品，哪怕是外国企业生产的，只要含中国稀土成分就得上交审批，这等于把ASML的供应链牢牢捆住了。 美国那边更慌，一家大型芯片公司的高级经理已经在抱怨，稀土磁铁价格蹭蹭涨，还担心中方的许可制度会让供应链停滞。 美国战略与国际研究中心的专家都直言，这是中国迄今为止最严格的出口管制，世界各地的公司都得遵守。 欧盟也坐不住了，委员会发言人和德国经济部都急着喊话，说担心供应不稳定，可着急也没用，他们自己的稀土加工能力连中国的零头都不到，想短期内摆脱依赖根本不现实。 其实这事儿也挺讽刺，美国之前拿着光刻机当筹码，以为能掐住高端芯片的脖子，没成想ASML这台“吞金兽”竟是个“稀土依赖症患者”，偏偏中国手里攥着治这个病的药。 更有意思的是，中国的管制还不是全面禁运，只是要个批准，可就这一下，全球半导体产业链都得跟着紧张。 台积电、三星这些依赖ASML的巨头，现在都闷不吭声，显然也怕供应链掉链子，毕竟就算ASML能造出光刻机，没有稀土部件也是一堆废铁，而那些稀土，不管是从哪开采的，最后大多还得送到中国来加工，这产业链地位可不是短期能撼动的。 说白了，ASML的EUV再先进，也得拜倒在稀土“石头”面前，美国之前只想着限制别人，却没算到自己押宝的设备有这么个致命软肋。 现在12月1日越来越近，ASML的出货计划被打乱，美国想找替代稀土来源又没头绪，这反制的王牌算是实实在在打在了点子上，那些之前跟着美国起哄的国家，现在恐怕都在偷偷算自己的损失了。