外网：“基本可以确认，国产EUV光源没有采用ASML的LPP二氧化碳激光路线，而

乐珊聊娱乐 2025-03-20 08:34:06

外网：“基本可以确认，国产EUV光源没有采用ASML的LPP二氧化碳激光路线，而是走LPP多通道光纤激光序列靶向路线。最关键的高脉冲能量、高重复率光纤激光器已经生产出来，且完全国产化。 ” （暴论有待证实）

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评论列表

风中强子

风中强子

2
2025-03-21 11:03

使用LDP技术的光刻机是DUV！只能生产7纳米以上的成熟芯片，成本高，良品率低！属于淘汰的技术！

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乐珊聊娱乐

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