“中国永远都造不出光刻机？”去年，中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言：“美国都造不出，中国永远也造不出来！”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。 “中国永远都造不出光刻机？”这话是去年中国物理学教授朱士尧抛出的重磅炸弹，一时间网上吵翻了天。光刻机可是芯片制造的命根子，技术难度高得吓人，连美国都得靠全球合作才能搞定。当时朱教授一脸严肃地说这话，底气十足，可谁能想到，一年后上海微电子就宣布搞出了国产EUV光刻机。 朱士尧不是随便哪个路人甲，他是物理学界的老前辈，1945年生在江苏苏州，早年考进清华大学物理系，后来在中科院物理研究所干了不少年，专攻激光物理和光学技术。80年代他还跑去美国麻省理工学院当过访问学者，那时候正好赶上半导体制造技术起步，他算是亲眼见识了光刻机的雏形——用光把电路图案刻到硅片上。回国后，他在中科院上海光学精密机械研究所当研究员，带团队搞过不少国家项目，还为中国早期的光刻机原型机打过基础。90年代他试着推国产深紫外（DUV）光源，想打破国外垄断，虽然没完全成功，但也算开了个头。 到了晚年，朱士尧开始有点悲观。2023年他在学术会议上说，极紫外（EUV）光刻机太复杂，上万个零件得靠全球产业链配合，中国在高端光源和物镜这些关键地方被卡脖子，短时间没法突破。2024年春，他在一次闭门会上直接放话：“美国都造不出，中国永远也造不出来。”这话听着刺耳，但也不是没道理，毕竟光刻机这玩意儿真不是一个国家能随便搞定的。 朱士尧这话有背景。EUV光刻机是芯片制造的顶尖装备，能刻出3纳米以下的超细电路，核心是个13.5纳米的极紫外光源。全球老大荷兰ASML的机器，集成了美国的光源、德国的物镜、日本的机械台，每台1.5亿多美元，研发20年才成。这背后是几十个国家的供应商一起发力，中国呢？2019年起美国开始技术封锁，ASML的EUV机器直接不卖给中国，连高端DUV设备都限得死死的。朱士尧看在眼里，觉得中国缺产业链、缺技术，单打独斗太难了。 再说现实点，2024年是中国半导体行业的低谷。美国商务部又加码禁令，连DUV的零件都管起来了。ASML那边也说，中国就算有进步，整台EUV机器还得熬好多年。台积电、三星、英特尔都在2纳米工艺上抢地盘，中国看着时间不多了。朱士尧那时候的悲观，其实是基于他对技术难度和国际局势的判断，不是随便瞎说的。 可就在这节骨眼上，中国没认输。2018年美国一封锁，国家就往半导体砸钱，国家集成电路基金弄了3000多亿，上海微电子、华为、中芯国际跟高校一块儿干。2024年4月，中科院上海光学精密机械研究所说，他们在固体激光器驱动的EUV光源上搞出了突破，能量转换效率赶上国际水平。同年，哈尔滨工业大学的光源项目也牛了，用激光诱导放电等离子体技术，效率比ASML还高一倍。 到2024年6月，上海微电子憋出个EUV光刻机原型机，每小时能处理200片晶圆，性能快追上ASML了。这机器不是抄人家的，而是“换道超车”，避开了ASML的二氧化碳激光路子，用上了国产的放电等离子体技术。2025年6月，华为松山湖基地的国产EUV光刻机开始试生产，体积小30%，功耗低40%，成本只有进口的三分之一，精度0.05纳米，能撑7纳米芯片量产。这消息一出，中芯国际股价蹭蹭涨，ASML的股价反倒跌了。 这不是运气，是攒出来的。过去几年，中国在光刻机上的投入是真狠。光源、物镜、机械台，每块都有团队死磕。哈工大的光源技术，长春光机所的物镜系统，再加上上海微电子整合能力，硬是拼出一台机器。良率70%听起来不如ASML的商用级，但对7纳米芯片够用了。更关键的是，这台机器全是国产零件，没受制于人。
