研发芯片有多难

智能创新情报局 2026-03-12 23:26:11

要造出半导体集成电路(芯片)必须由光刻机来将复杂电路图形通过光刻胶光刻在单晶硅晶圆上,然后,曝光区域的光刻胶被特定溶剂溶解,未曝光区域保留,从而实现电路图从掩膜版到晶圆的转移光刻完成后,需通过蚀刻去除未曝光的氧化层,剥离光刻胶,最终形成集成电路图形。但此时芯片尚未具备电学功能,还需进行离子注入、扩散等工艺。

芯片制造有数百道工序,需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺,每一道工序都会用到大量超高纯电子级磷酸、硫酸、蚀刻液等湿电子化学品,为了使这些产品国产化,兴福电子董事长李少平率领有关科研人员攻下这些"卡脖子"技术难题!生产出自己的民族品牌。

但最难生产的是光刻机,全世界仅荷兰一家,荷兰的光刻机整机重180吨,零件超过十万个。荷兰ASML负责最后组装,自己掌握的核心技术不到10%。剩下全靠全球五千多家供应商协作。"美国提供光源主部件,德国蔡司独家做光学镜头,日本管关键材料和光刻胶。"因此,国内有一个资深的专家叫朱士尧,认为中国造不出光刻机,因为连美国佬想独立制造光刻机都功亏一篑,不得不暂且收敛。

2024年初,上海微电子28纳米浸没式机型开始交付使用,东大正按自己的节奏往前走,未来高端部分会逐步跟上。我们仍将从一无到有,努力创造奇迹,赶超世界先进水平。

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